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概況及原理 羅茨真空泵又稱機械增壓泵，是一種旋轉式容積真空泵。二個三葉轉子與泵腔保持一定的間隙，通過一對同步反向旋轉齒輪使二個轉子在泵腔內旋轉時互相不接觸并保持一定間隙。右圖為泵的結構原理圖，從圖Ⅰ至Ⅳ為轉子在泵腔內旋轉并完成一次吸、排氣的過程。 主要特點： ? 轉速高、容積效率高。 ? 結構簡單，操作、維護方便。 ? 轉子被鎖緊，無軸向串動現象。 ? 采用高精度傳動齒輪和良好的動平衡，噪聲低、運

無油螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。

說明：1. 以上表格為推薦標準系列，因在實際生產應用中工作條件的不同，吸入氣體及壓力會發生很多變化，所以在選型時應根據實際抽氣過程、氣體釋放過程、可凝性氣體冷凝情況、吸入壓力的時間變化等等進行校核計算或參照現有設備使用情況選型。 2. 單泵的技術指標詳見各泵參數表。 3. Z高吸入壓力是指主泵能夠啟動的Z高壓力，如在高于該壓力下長時間運行，會造成主泵過載。 4. 訂貨時請注明抽氣介質，工作壓力，是